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扫瞄电子显微镜SEM的原理跟应用




来源:yiyi
时间:2011-10-3 14:46:33

今天介绍扫瞄电子显微镜SEM的原理跟应用扫瞄电子显微镜用在很多的场合包括材料分析跟一些破坏分析都用的到所谓扫瞄电子显微镜的英文全名为Scanning Electron Microscopy简称为SEM
   我们今天上课分为五个部份因为时间的关係每个部份只能大概包含一些重点其中主要就是我们电子显微镜中电子束形成的方式是第一个接下来就是扫瞄电子显微镜的内部构造稍为做一些简介再下来我们会提到电子显微镜上就是它形成的影像是什麽样的形式它心些的原理我们会做一个介绍第四个部份就是会介绍扫瞄电子显微镜裡面最重要一个辅助的功能也就是成份分析你在看你试片的影像的同时部以知道试片裡面含有什麽样的元素这成份分析简称为EDS这个我们会做详细的说明最后一个部份会简单的介绍电子显微镜它的试片製备以及需要注意哪些地方
   这边有几个参考的书籍这门课裡面主要是由这本书Scanning Electron Microscopy and X-ray Microanalysis这本书的一些图片跟档桉来製作完成的这本书由1990年代发行虽然现在已经没有再发行不过它的内容非常好至于中文的部份是由陈力俊院士正是目前国科会副主任委员他所着作的一本书叫做材料电子显微镜是由国科会精密仪器中心发行的
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